μRBS

高機能イオン散乱分析装置であるμRBSを、受託分析会社として世界で初めて導入しました。高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備え、微小部における正確な組成・密度分析が可能となります。
また、入射イオン種の増加、加速エネルギーの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現しました。

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 μRBSの特徴

• ◆ 収束イオンビームによる、微小領域での正確な組成・密度分析
• ◆ 高質量分解能測定による全元素定量
• ◆ H、Li、Bなど、軽元素の高感度測定

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 μRBS装置の特徴

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 分析事例